智能式傳感器具有信息處理功能，通過軟件不僅可修正各種確定性系統誤差(如傳感器輸入輸出的非線性誤差、服度誤差、零點誤差、正反行程誤并等)而且還可適當地補償隨機誤差、降低噪聲，提高了傳感器精度。

隨著微電子技術的不斷發展，集成了CPU、存儲器、定時器/計數器、并行和串行接口、看門狗、前置放大器甚至A/D、D/A轉換器等電路在一塊芯片上的超大規模集成電路芯片(即單片機)出現了。以單片機為主體，將計算機技術與測量控制技術結合在一起，又組成了所謂的“智能化測量控制系統”，也就是智能儀器。